[비즈니스포스트] 삼성전자와 SK그룹이 각각 연구개발센터 구축과 극자외선(EUV) 장비 가스 재활용 방안에 협력하기로 뜻을 모았다.

13일 대통령실에 따르면 삼성전자는 ASML과 국내에 1조 원을 투입해 연구개발센터를 구축하고 SK하이닉스는 ASML과 EUV 장비에 쓰이는 수소가스를 재활용하는 기술을 함께 개발하는 내용을 담은 업무협약을 12일 맺었다.

네덜란드 ASML은 인공지능, 스마트폰 등에 활용되는 최첨단 반도체 제조에 필요한 EUV 노광장비를 세계에서 유일하게 생산하는 기업으로 한국 반도체 기업들과 긴밀한 협력을 유지해오고 있다.

이번 업무협약은 윤석열 대통령이 이재용 삼성전자 회장과 최태원 SK그룹 회장과 함께 네덜란드를 국빈 방문하면서 전격적으로 이뤄졌다.

윤 대통령은 네덜란드 빌렘-알렉산더 국왕과 함께 ASML 본사를 방문해 한국과 네덜란드, 유럽의 주요 반도체 기업대표들과 간담회를 열고 차세대 EUV 노광장비 생산현장을 둘러봤다.

이번 업무협약은 양국 정상과 반도체 기업대표의 간담회 직후 이뤄졌다.

삼성전자는 ASML과 함께 1조 원을 투자해 차세대 EUV 기반으로 초미세 공정을 공동 개발하는 ‘차세대 반도체 제조기술 연구개발 센터’를 한국에 설립한다.

장비기업인 ASML이 반도체 기업과 공동으로 해외에 반도체 제조공정을 개발하기 위한 연구개발 센터를 설립하는 것은 이번이 처음이다.

SK하이닉스는 ASML과 ‘EUV용 수소가스 재활용 기술 개발 업무협약’을 체결했다.

EUV 장비 내부에서 사용되는 수소를 태우지 않고 재활용하면 전력사용량은 20% 줄고 매년 165억 원의 비용이 감축될 것으로 예상된다. 조장우 기자