SK하이닉스가 반도체 미세공정에 필수인 극자외선(EUV)장비 확보에 나섰다.

24일 SK하이닉스는 차세대 공정 양산 대응을 위해 2025년 12월1일까지 5년 동안 4조7500억 원 규모의 극자외선장비를 취득한다고 공시했다.
 
SK하이닉스는 극자외선 장비를 독점 생산하는 네덜란드 ASML과 장비 구매계약을 맺은 것으로 파악된다.

극자외선 장비 가격은 1대당 2천억 원 수준이다. SK하이닉스는 5년 동안 20대 이상의 극자외선장비를 도입할 것으로 전망된다.

극자외선장비는 반도체 미세공정의 필수장비로 여겨진다. 기존 광원보다 파장이 짧은 극자외선을 이용하면 더 미세한 회로를 구현할 수 있기 때문이다.

현재 극자외선장비를 반도체 생산에 활용하고 있는 곳은 삼성전자와 TSMC뿐이다.

SK하이닉스는 최근 준공한 경기도 이천 M16 공장에 극자외선장비를 도입해 초미세 차세대 D램 생산에 활용할 것으로 보인다. [비즈니스포스트 김디모데 기자]