삼성전자가 차세대 반도체공정인 EUV(극자외선)기술을 세계 최초로 상용화해 적용한 새 시스템반도체 위탁생산공장을 짓는다.

20일 삼성전자에 따르면 23일 경기 화성시의 반도체 산업단지에서 새 위탁생산공장 착공식이 열린다.
 
삼성전자가 신설하는 공장에 전 세계 최초로 생산라인에 EUV장비가 도입돼 상용화된다.

EUV는 반도체 회로를 인쇄하는 노광공정에 사용되는 신기술로 기존 미세공정의 한계를 넘을 수 있는 차세대 반도체기술로 꼽힌다.

삼성전자는 이르면 올해 연말부터 EUV를 적용한 7나노급 미세공정의 시스템반도체 위탁생산을 시작할 계획을 세우고 있다.

미세공정기술이 발전하면 반도체의 성능과 전력효율, 생산성을 모두 높일 수 있다.

하지만 EUV장비 가격이 1대에 최대 2천억 원대로 비싸고 반도체 생산공정 전반에 대대적 변화가 필요한 만큼 반도체기업들이 쉽게 신기술을 도입하기 어렵다.

삼성전자가 전 세계에서 가장 먼저 EUV장비 상용화에 나서며 기술 우위를 증명한 셈이다.

김기남 삼성전자 DS부문 사장은 지난해 말 조직개편에서 기흥사업장에 있던 집무실을 화성사업장으로 옮길 정도로 화성의 시스템반도체 위탁생산공장에 높은 기대를 걸고 있다.

삼성전자가 화성의 EUV 생산공장에 들이는 시설투자규모는 약 6조 원 정도로 알려졌다. [비즈니스포스트 김용원 기자]